北京MSD係列小功（gōng）率直流磁控濺射電源

主要型號：

主（zhǔ）要（yào）特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時（shí）提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜（mó）優（yōu）勢（shì）更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒（héng）流模式，
更（gèng）能保證鍍膜工藝的（de）重複性。
  C 具有理想（xiǎng）的電（diàn）壓陡降特（tè）性，自（zì）動識別偽（wěi）打火現象，
充分滿足磁控濺射（shè）工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控製/模擬量接口（kǒu）控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空（kōng）設備定製，相對生產型（xíng）設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使（shǐ）用進口IGBT或MOSFET作（zuò）為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完（wán）善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統（tǒng），充分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能，
具有極（jí）佳的負載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩（wěn）定性，又提高了靶麵清洗速度；
主（zhǔ）要參數均可大（dà）範圍（wéi）連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化（huà）控製。

主要用途：

直流磁控濺射用（yòng）於（yú）鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源（yuán）的故障現象分析及排除，在（zài）實際（jì）使用的過程中，真（zhēn）空鍍膜機就出現過（guò）不少故障，其中高壓（yā）電源部（bù）分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行分（fèn）析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示（shì）

真空鍍膜機（jī）在正常工作的時候，設（shè）備的主開關電路中的開關管處於飽和的導通狀態，當（dāng）管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或（huò）10kV）。從檢（jiǎn）測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊（jī）穿導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於（yú）束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打（dǎ）穿等原因，都會出現高壓無（wú）指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束流大（dà）於預定的值，主開關管處（chù）於截止狀態，承受全部（bù）的（de）高壓，讓高壓無法輸出（chū）。由於打火而造成束流過大的（de）時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓（yā）處於導通狀態，這時高壓就（jiù）沒有指（zhǐ）示了。

2、無束（shù）流時，高壓指示不穩定

在正常的情況（kuàng）下，即使有束流高壓指示也應（yīng）該是穩定的，無束流時高壓指示不穩（wěn）定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明（míng）問題不在負載那方麵，而是在高壓電（diàn）源那（nà）方麵，高壓電源（yuán）是由高壓部分和自動電源的主開關（guān）管進行切斷的。當有束（shù）流時，高（gāo）壓指示頻繁的擺動，就是（shì）高壓出現連續性的（de）過流打（dǎ）火，自動複位部分就開始（shǐ）運行（háng），使（shǐ）得高壓電源的主開關管始終處（chù）在切斷和導通這兩種狀態，反（fǎn）映在高壓表上的指針就（jiù）金頻繁（fán）的擺動。在實際的修理（lǐ）過程中發現，有（yǒu）時會（huì）出現這（zhè）種故障並不（bú）是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為（wéi）設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束（shù）流的情況下，會產生二次、三（sān）次（cì）電（diàn）子，從而產生較大的假（jiǎ）束（shù）流，使得主開關（guān）管不停的導通和截止，高壓（yā）指示就不穩定（dìng）了。消除（chú）這種故（gù）障（zhàng），可先將電（diàn）子（zǐ）槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消除（chú），再將（jiāng）鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進（jìn）行徹底的清洗，故（gù）障就會被消除，高壓指示就不會在頻（pín）繁的擺動了。