武漢MSD係列小（xiǎo）功率直流磁控濺射電源

主要型（xíng）號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電（diàn）源技（jì）術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢（shì）更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式（shì）相對於傳（chuán）統的恒流模式，
更能保證鍍（dù）膜工藝（yì）的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控（kòng）濺射工藝（yì）過程的連續性。
  D 可選擇手動控（kòng）製/模擬（nǐ）量接口控製，可選配（pèi）RS485通訊接口。
  E 專門為（wéi）試驗型真空設備定製，相（xiàng）對生產型（xíng）設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低（dī）成本（běn）
采用先進的（de）PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關（guān）器件，
體積小、重量輕、功能（néng）全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善（shàn）。
該係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的（de）重複性，
並（bìng）且具有抑製（zhì）靶材弧光（guāng）放電及抗短路功能，
具有極佳的負（fù）載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性（xìng），又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和（hé）RS485接口擴展功能，方便實現（xiàn）自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在（zài）實際使用的過（guò）程中，真空（kōng）鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故（gù）障進行分（fèn）析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指（zhǐ）示

真空鍍膜機在（zài）正常工作的時候，設備的（de）主（zhǔ）開關電路中的開關管處於飽和（hé）的導通狀態，當管壓下降保持在（zài）100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或（huò）10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不足（zú）以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝（guō）的邊緣（yuán），或者束（shù）斑的位置在中心，但（dàn）蒸鍍的材料被打穿（chuān）等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束（shù）流（liú）大於預定的（de）值，主開關（guān）管處於（yú）截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法輸（shū）出。由於打火而造成束流過大的時（shí）候，在電流檢測電路時取得的（de）過流（liú）信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒（méi）有（yǒu）指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定（dìng）

在正常的情況下，即使有束流（liú）高壓（yā）指示也應（yīng）該是穩定的，無束流（liú）時高壓指示不穩定，高壓表指針就會（huì）來回（huí）的擺動，這就是不正常情況（kuàng）。從原理上分析，高（gāo）壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載（zǎi）分開（kāi），如果（guǒ）問題還在，就證明問題不在負載那方麵（miàn），而是在高壓電（diàn）源那方麵，高壓電源是由高壓（yā）部分和自動電源的主開（kāi）關（guān）管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁（fán）的擺（bǎi）動，就是（shì）高壓出現連續性的過流打火，自動複位部（bù）分就開始運行，使得高壓電（diàn）源的主開關管始終處在切斷和導（dǎo）通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實（shí）際的修理過程中（zhōng）發現（xiàn），有（yǒu）時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因（yīn）為設備使用了很多（duō）年，鍾罩內（nèi）壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的（de）情況下，會（huì）產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得（dé）主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地（dì）清洗，如味故障（zhàng）還沒有補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清（qīng）洗，故障就（jiù）會被消除，高壓指示就（jiù）不會在頻繁的擺動了。