浙江MSD係列小功率直流磁控濺（jiàn）射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小（xiǎo）輸（shū）出儲能元件，
同時提高了抑（yì）製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更（gèng）為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率（lǜ）模式相（xiàng）對於傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性（xìng），自動識別偽打火現（xiàn）象，
充（chōng）分滿足磁控濺射工藝（yì）過程的連續性。
  D 可選擇手動控製/模擬（nǐ）量接口控（kòng）製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設（shè）備定製，相對生產型設備的直流磁控濺（jiàn）射電源，
為客戶減小電源體（tǐ）積和降低成本
采用先進的（de）PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝（yì）的重複（fù）性，
並且具有抑（yì）製靶材弧光放電（diàn）及抗短路功能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證（zhèng）了靶麵清洗工藝的穩定性，又提高了（le）靶麵（miàn）清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護（hù），可靠性高；
PLC接口和（hé）RS485接口擴展（zhǎn）功能，方（fāng）便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁（cí）控濺射用於鍍（dù）製各（gè）種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障（zhàng）較多，也比較複雜（zá），下麵就幾種典（diǎn）型的故障進行分析。

1、增加電子束流時（shí），高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開（kāi）關電路中（zhōng）的開關管處（chù）於飽和的導通狀態，當（dāng）管（guǎn）壓下降保（bǎo）持在100V左右的時候（hòu），柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電（diàn）路上得到（dào）的電（diàn）壓控製信（xìn）號不足（zú）以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下（xià），增加束流時，由於束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝（guō）的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍（dù）的材料（liào）被打（dǎ）穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由（yóu）於高壓輸出被近似短路，造成電子束（shù）流大於預定的值，主開關管（guǎn）處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測（cè）電路時（shí）取得的過流信號，使得穩壓管被擊（jī）穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束（shù）流時，高壓（yā）指示不穩定

在正（zhèng）常的情況下，即（jí）使有束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來（lái）回的擺動，這就是不（bú）正常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會（huì）出現這種現（xiàn）象。為了便於排查，先將高壓電源（yuán）和負載（zǎi）分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那（nà）方麵，高壓電源是由高壓部分和自動電源的主開關管進行切斷的。當有（yǒu）束流時，高壓指示頻（pín）繁的擺動，就是高（gāo）壓出現連續性（xìng）的過流打火，自動複位部（bù）分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始（shǐ）終處在切斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指（zhǐ）針（zhēn）就金頻繁的擺動。在實際的修（xiū）理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是（shì）真空室內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在（zài）有束（shù）流的情況（kuàng）下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使（shǐ）得主開關管不停（tíng）的導通和截止，高壓指示就不穩（wěn）定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還（hái）沒有補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進（jìn）行徹底的清洗，故障就會（huì）被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。