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浙江MSD係列直流磁控濺射電源

浙江(jiāng)MSD係列直流磁控濺射(shè)電源(yuán)

  • 所屬分類:浙江MSD係列直流磁控濺(jiàn)射電源
  • 瀏覽次(cì)數:
  • 發布日期:2020-05-21 14:13:28
  • 產品概述
  • 性能特(tè)點
  • 技(jì)術參數

主要型號:

型(xíng)號

功率(kW)

蕞大工作

電流(A)

外形尺寸

冷卻方式

空載電壓(V)

工作電壓(V)

MSD-10k

10

12.5

1單元


風冷

480*243*565

(WHD)(3U)



1000



150~800V

MSD-20k

20

25

1單元

MSD-30k

30

37.5

2單元

MSD-40k

40

50

2單元

MSD-20k

20

25

1單元



風(fēng)水冷

480*280*580

(WHD)(3U)




1000




150~800V

MSD-30k

30

37.5

1單元(yuán)

MSD-40k

40

50

1單(dān)元

MSD-60k

60

75

2單元

MSD-80k

80

100

2單元(yuán)

MSD-100k

100

125

3單元

MSD-120k

120

150

3單元(yuán)


主要特點:
   A 采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件,
同時提(tí)高了抑製打火及重啟速度,應用在鋁靶鍍(dù)膜優勢(shì)更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於(yú)傳(chuán)統(tǒng)的恒流模式(shì),
更能保證鍍膜工藝的(de)重複(fù)性。
  C 具有(yǒu)理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,
充分滿足(zú)磁控濺射工(gōng)藝過程(chéng)的連續性。
  D 主要參數可大範圍調節
  E 可選擇手動控製/模擬量接口控製,可選配RS485通訊接口。
  F 采用進口大功率(lǜ)IGBT&MOS模塊
采用先進(jìn)的PWM脈寬調製技(jì)術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重(chóng)量輕、功能(néng)全(quán)、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該(gāi)係列產品(pǐn)采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光(guāng)放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配(pèi)能力,既保證(zhèng)了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶(bǎ)麵清(qīng)洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節(jiē);
方便維護,可靠性高;
PLC接(jiē)口和RS485接口擴展功能,方(fāng)便實現自動(dòng)化控製。


主(zhǔ)要用途:

直流磁控濺射用於鍍製各種金屬



在電子科技快速發展的時代中,電源的應用可以說是(shì)隨處可見的,或許正是因為電源的普遍應(yīng)用,所(suǒ)以電源的類型也隨之而多樣。真空鍍膜電源是眾多電(diàn)源類型中(zhōng)的一種,這種電源與普通的電源有(yǒu)一定的區別,單(dān)是電(diàn)源的外觀就有明顯的不同。

真空鍍膜電源,

     真空鍍(dù)膜機光(guāng)學鍍膜加工上(shàng)有什麽要注意(yì)的嗎?當光線進入不同傳遞物質時(如由空氣進入玻(bō)璃),大約有5%會被(bèi)反射掉,在光學瞄準鏡中有許多透鏡和折射鏡,整個加起來可以讓入射(shè)光線損失達30%至40%。現代光學透鏡通常都鍍有單層(céng)或多層氟化鎂(měi)的增透膜,單(dān)層(céng)增透膜可使反射減少至1.5%,多層增透膜則可讓反射降低至0.25%,所以整個瞄準鏡如果加以適當鍍膜,光線透穿率可達95%。鍍了單層增透膜的鏡片通常是(shì)藍紫色或是紅色,鍍多層(céng)增透膜的鏡片則呈淡(dàn)綠色或暗紫色。


真空鍍膜機增透膜增加透射光強度的實(shí)質是作為電磁波的光波在(zài)傳播的過程中,在不同介(jiè)質的分界麵上,由於邊界條件的不同,改變了其能量的分布。對(duì)於單層薄膜來說,當增透膜兩邊介質不同時,薄膜厚度為1/4波長的(de)奇數倍且薄膜的折射率n=(n1*n2)^(1/2)時(分別是介(jiè)質1、2的折(shé)射率),才可以使入射光全部透過介質。一般光學透(tòu)鏡都是在空氣中使用,對於一般折射率在1.5左右的光學玻璃,為使單層膜達到100%的增透效果,可使n1=1.23,或接近1.23;還要使增透薄膜的厚度=(2k+1)倍四分之一個波長。單層膜隻對某一特定波長的電磁波增(zēng)透(tòu),為(wéi)使在更大範圍內和更多波(bō)長實現增透,人們(men)利用(yòng)鍍多層膜來實現。


人們對增透(tòu)膜的(de)利用有了很多的經驗,發現了不(bú)少可以作為增透膜的材料(liào);同時也掌握了不少先進的鍍(dù)膜技術,因此增(zēng)透膜的應用涉及醫學、軍事、太空探索等各行各業,為人類(lèi)科技進步作(zuò)出了重大貢獻。


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