上海MS係列勵磁多波形（xíng）電源

主要型號：

主（zhǔ）要特點：
   A 可選擇三角波、矩形波、正弦波三種波形，波形的蕞高值和蕞低值可（kě）獨立設置。
   B輸出電壓（yā）範圍：-40V~+40V。
   C波形頻率範圍：0.1-50Hz
   D三角波、矩形波占空比10%~90%
   E 可選（xuǎn）擇手動控製/模擬量接口控製，可選配（pèi）RS485通訊接（jiē）口。
采用先進的PWM脈寬調製（zhì）技（jì）術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關（guān）器件，
體積小、重量輕（qīng）、功能全、性能穩定可（kě）靠，生產工（gōng）藝嚴格完善。
該係列產品采用（yòng）先進（jìn）的（de）DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具有（yǒu）抑製靶材弧光放電及抗短路功能，
具有（yǒu）極佳的（de）負載匹配能力，既保（bǎo）證了靶麵清洗（xǐ）工藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度（dù）；
主要參（cān）數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現（xiàn）自動化控製。

主要用途：

MS係列勵（lì）磁（cí）多波形電源選擇多種電壓波形輸出。通過（guò）驅動多弧靶外圍磁場線（xiàn）圈（quān），產生周期性可變磁磁場（chǎng），使多弧輝光由原來的集中放電變為（wéi）均勻放電，提高工件膜層質量

在真空鍍膜時，使用直流負偏壓電源，其中運用直流電源，這個電源的電子方向一直統一，會導致單一（yī）品種電荷堆積過高與控製源中和（hé）。也就（jiù）是說用來提供動力（lì）的正負極被中和（hé）了。然後磁控濺射（shè）將不再持續。所以選用脈衝電（diàn）源。真空鍍膜一種由物理（lǐ）辦法發生薄膜資料的（de）技能。在真空室內資料的原子（zǐ）從加熱源離析出來打到被鍍物體的外表上。此項技能樶先用於出產光學鏡片，如航海望遠鏡（jìng）鏡片等。後延伸到其他功用薄膜，唱片鍍鋁、裝修鍍膜和資料外表改性（xìng）等。如手表外（wài）殼鍍仿金色，機械刀具鍍膜（mó），改變加工（gōng）紅硬性。真空（kōng）鍍膜是一種由物理方法產生薄膜材料（liào）的技術，在真空室內材料的（de）原子（zǐ）從加熱源離析出來（lái）打到被鍍物體的（de）表麵上。

真空鍍膜電源：

(1)在真空鍍膜機運轉正（zhèng）常情況下，開動真空鍍膜機時（shí），必須先開（kāi）水管，工作中應隨時注意（yì）水壓。

(2)在離子轟擊和蒸發時，應特別注意高壓電線接頭，不得觸動，以防觸（chù）電。

(3)在用電子槍鍍膜時，應在鍾（zhōng）罩外圍上（shàng）鋁板。觀察窗的玻璃樶好用（yòng）鉛玻璃，觀（guān）察時應戴上（shàng）鉛玻璃眼鏡，以防X射線侵害人體。

(4)鍍製多層介質膜的鍍膜間，應安裝通風吸塵裝置，及時排除有害粉塵。

(5)易燃有毒物品要妥善保管，以防（fáng）失火中毒。

(6)酸洗夾（jiá）具應在通風裝置內進行，並要戴橡皮手套。

(7)把零件放（fàng）入酸洗或堿洗槽中時，應輕（qīng）拿輕放，不得碰（pèng）撞及濺（jiàn）出（chū）。平時酸洗槽盆應加蓋。

(8)工作完畢應斷電、斷水。