 
    主要型號:
| 型號 | 功率 (kW) | 最大工作 電流(A) | 外形 尺(chǐ)寸 | 冷卻 方式 | 空載電壓 (V) | 工作(zuò)電壓 (V) | 
| MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風(fēng)冷 | 1000 | 200~800V | 
| MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
| MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
| MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 | 

主要特點:
   A 明顯改善靶麵電荷積(jī)累現象(xiàng),減小濺射表麵的打火(huǒ)次數,提(tí)高膜層質(zhì)量。
   B 具有平均電源穩定功能(néng),具有理想的電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺射工藝(yì)過程的連(lián)續性。
   C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
   D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可選擇手動控製/模擬量接口控(kòng)製,可(kě)選(xuǎn)配RS485通訊接口(kǒu)。
采用先進的PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產(chǎn)工藝嚴格完善。
該係(xì)列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝(yì)的重複性(xìng),
並且具有抑製靶材弧光放電(diàn)及抗(kàng)短路功能,
具有(yǒu)極佳(jiā)的負載匹配(pèi)能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高(gāo)了靶麵清洗速度;
主要參(cān)數均可(kě)大(dà)範圍連續調節;
方便維護,可(kě)靠性高;
PLC接口和RS485接(jiē)口擴展功能,方便實現自動化控製。
主要用途:
單極脈衝磁控濺射(shè)適用(yòng)於金屬、合金及石墨等靶(bǎ)材鍍製金屬膜、碳膜(mó)和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
鏡片在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要(yào)求很高,達到分子級。在清洗槽(cáo)中分別(bié)放置各種清洗液,並采用超聲(shēng)波加強(qiáng)清洗效果,當鏡片清洗完後,放進真空艙內,在此過程中(zhōng)要特別注(zhù)意避免空氣中的(de)灰塵和(hé)垃(lā)圾再黏(nián)附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內(nèi),在此過程中要特別注意避免(miǎn)空氣中的灰(huī)塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前(qián)進(jìn)行的,放(fàng)置在真空艙內的離子(zǐ)槍將轟擊鏡片的表麵(例(lì)如用(yòng)氬離子),完成此道清洗工序後即進行減反射膜的鍍膜。
真空鍍膜電源為什(shí)麽在現在會應用那麽多呢,有哪些明顯的效果?

概念的區別:
1、真空鍍膜(mó)是指在高真(zhēn)空的條件(jiàn)下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣(yuán)體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真(zhēn)空鍍鉻等。
2、光學鍍膜(mó)是指在光學零(líng)件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜(mó)的工藝過程。在(zài)光學零件表麵鍍膜的目的是為了達(dá)到減少或增(zēng)加光的反(fǎn)射、分束、分色、濾光、偏振(zhèn)等要(yào)求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。